-QCM传感器/晶振片-
原创电子生产优质的QCM传感器/晶振片。我们可以提供3种不同的电极材料应用于不同的镀膜监控。每种都有各自的特点和优势。
金电极 金是最广为人知的电极材料。它提供低接触电阻,高化学稳定性,并容易沉积。通常,镀金晶振片用于低应力金属沉积金、银和铜。使用金电极,可以获得高达1MHz的频率偏移而不会产生不良影响。金晶体也可用于抗反射涂层和半导体工艺。.
合点击金, 金银组成,是高应力材料沉积的最佳电极,包括;一氧化碳,二氧化硅,氟化镁,二氧化钛。沉积的高应力材料往往由于高拉伸应力或高压缩应力而产生不稳定的晶体性能。这些应力引起石英的弯曲和随后的频率偏移。合金通过塑性屈服或流动消散沉积膜的应力。在压缩力或拉力导致晶体弯曲之前,电极就会消散应力。这导致晶振片更稳定,具有更长的稳定周期,无跳振荡。
银电极 银是一种优良的全能电极材料。银的接触电阻低,并表现出一定程度的塑性屈服。然而,银在大气中出现硫化物时往往会失去光泽。无光会增加接触电阻,降低沉积在晶振片上的薄膜的粘附性。
如果客户有特殊要求,也可以制作其他电极材料的传感器,如铜。
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金电极 |
金银合金电极 |
银铝合金电极 |
其他电极 |

